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内容摘要：
高速旋转金刚石研磨机研磨盘转速对材料去除速率和表面粗糙度的影响通常情况下，增大高速旋转金刚石研磨机研磨盘转速可以提高研磨液产品研磨加工效率，但当速度过高时，会产生研磨运动平稳性降低、研磨盘磨损加快等具体问题，钻石金刚石研磨机，从而降低蓝宝石衬底表面加工质量。高速旋转金刚石研磨机研磨盘转速对材料去除速率和表面粗糙度值Ra的影响。从图5可以看出：当高速旋转金刚石研磨机研磨盘转速从40r/min增大至9......
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