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内容摘要：
洁净室级别划分标准是什么?目前对洁净室等级划分的是美国联邦FS 209E标准。常说的100级洁净室说的就是指在1立方英尺的空间内，大于等于0.5微米的粒子必须不多于100个，10级就是1立方英尺的空间，0.5微米的粒子必须不多于10个，1000级则不能多于1000个。洁净室级别划分标准是什么?一般来说，1级洁净室主要用于制造大规模集成电路的微电子工业；10级的洁净室主要用于带宽小于2微米的......
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