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内容摘要：
洁净工程中的洁净室通风机转速使其压头可以控制，不要总处于压头或风量运行的工况。运行应地利用室外空气冷却作用，并在此时增大新风比。洁净室应根据室外气象条件变化，通过自控或手控即能调整设备出力。缩小洁净空间体积，如洁净隧道或隧道式洁净室，根据生产要求把洁净空间划分为洁净度级别不同的工艺区、操作区、维修区和通道区。洁净室级别划分标准是什么?一般来说，1级洁净室主要用于制造大规模集成电路的微电子工......
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