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内容摘要:
对于普通的无油真空系统爱发科真空泵油来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻l底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。 爱发科真空泵油的应用是广泛的,主要有以下几个方面: 1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中; 2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒; 3)除半导体工......
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