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内容摘要：
对于普通的无油真空系统爱发科真空泵油来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻l底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。 爱发科真空泵油的应用是广泛的，主要有以下几个方面： 1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中； 2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒； 3)除半导体工......
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