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内容摘要：
光波超精密——动压气浮轴承气浮轴承的流行是由于它们的多功能性。它们可用于线性和旋转运动应用。轴承的形状像曲棍球冰球，铝镜动压气浮轴承，并在一侧具有多孔碳基底。空气被i迫通过碳，并且必须通过自然缠绕的路径才能到达轴承表面。这样的行程会在轴承面上产生坚硬，均匀的气垫，从而产生可靠的无接触，无摩擦的运动。这些轴承还可以进行真空预加载，从而提高其定位精度。1．采用空气动静压气浮轴承，运转“平稳”。2．结构......
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