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内容摘要：
光波超精密——静压气浮轴承空气轴承优点1.更空气轴承提供极高的径向和轴向旋转精度。由于没有机械接触，磨损程度降到了zui低，从而确保精度始终保持稳定。由于制造结构的不同，稀土元件静压气浮轴承，空气主轴旋转时的精i确性是天生具备的。特殊的制造技术提高了这一精i确性，能够提供极高的旋转和轴向精度。空气主轴的设计是，能够在轴向和径向同时获得小于0.1微米TIR的旋转精i确性。由于旋转的转子和静态支撑部分......
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