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内容摘要：
光波超精密——静压气浮轴承气浮轴承主要类型有：动压气浮轴承、静压气浮轴承、压膜轴承和其它类型气浮轴承。当轴或轴承沿支承面的法向作高频振动时，其间隙内的气体不断受到挤压，嘉兴静压气浮轴承，形成一压力高于环境压力的气膜，由该气膜承受外载荷。这种轴承称为压膜轴承。压膜轴承的高频振动是由压电陶瓷或磁致伸缩材料制成的换能器产生。压膜轴承的优点是：结构简单、紧凑、容易调整。缺点是：承载能力低、安装较复杂。光波......
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