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内容摘要：
光波超精密——小型高速精密台钻浮主轴利用多孔介质技术?在转子和定子之间形成均匀的气膜层。气浮主轴具有传统滚动轴承无法达到的精度。只有一个运动部件和零接触，亚微米同步误差运动是标准的，并且异步误差几乎被完全消除了。与其他精密主轴设计所采用的复杂的磁悬浮或高压油润滑系统不同，气浮主轴将转子悬挂在坚硬的压缩空气层上，提供无摩擦运动而不会增加复杂性，并且由于部件从未接触过，三坐标小型高速精密台钻，机械磨损......
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