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内容摘要：
平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回feng，chen埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。 ?优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。 ?垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可排出室外而不会影响其它工作区域。 ? 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所......
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