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内容摘要：
2.科学技术向微小领域发展，制造业要求的测量精度也在不断提高，由微米级向纳米级发展。纳米(nm)即为 10-9m，纳米技术定义为尺寸或公差范围为 0.1～100nm 的制造、测量等技术。随着现代科学技术的不断发展，众多高科技领域均已进入了纳米世界，如精密元器件的测量、电子工业高密度半导体集成电路等等。纳米技术的加工离不开纳米精度的测量技术和设备，目前，国外一些研究机构不仅已在表面轮廓、长度......
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