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内容摘要：
感应耦合等离子体刻蚀机的结构三创世威纳生产、销售感应耦合等离子体刻蚀，我们为您分析该产品的以下信息。供气系统供气系统是向刻蚀腔体输送各种刻蚀气体，通过压力控制器（PC）和质量流量控制器（MFC）精准的控制气体的流速和流量。气体供应系统由气源瓶、气体输送管道、控制系统、混合单元等组成。以上就是关于感应耦合等离子体刻蚀的相关内容介绍，感应耦合等离子体刻蚀机原理，如有需求，欢迎拨打图片上的热线......
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