内容摘要:
【美清净化工程向您推荐——洁净间】复合式复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,电子厂净化间工程,可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,电子厂净化间加工,以避免机器维修时影响了工作及,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道......
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