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内容摘要：
硅烷偶联剂在电子工艺中的应用硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的的特种气体，新型硅烷偶联剂， 用于各种微电子薄膜制备， 包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用还在向纵深发展: 低温外延、选择外延、异质外延。不仅用于硅器件和硅集成电路，常用硅烷偶联剂，也用于化合物半导体器件(碳化硅等)。在超晶格阱材料制备中也有应用。可以说现代几乎所有的集成电路的生产线都需用到硅......
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