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内容摘要：
普通超声波雾化喷涂设备介绍超声波雾化喷涂设备电源功耗(10W)低，产生的雾化液滴平均粒径小、均匀性好，液滴直接喷涂在晶圆表面上的光刻胶利用率高，因此它被认为是一种绿色的光刻胶薄膜制备工艺。普通超声波雾化喷涂设备表面的雾化液滴初始速度小，易于受到周围空气的扰动，不利于获得高质量的光刻胶薄膜，难以实现理想的喷涂效果。2，油漆的电阻率调在500~900KΩ为佳，偏离此数值越大静电效果越差。为此，超声波在超声波雾化喷涂设备中加入载气模块增加雾化液滴的动力，小型喷粉回收设备规格，控制雾化喷涂方向和范围，实现光刻胶薄膜的定向喷涂于基底的晶圆表面。
粉末涂料具备可回收利用的优势由于与传统的溶剂型涂料相比，粉末涂料具备可回收利用的优势。因此喷涂作业会控制在一个半密闭的环境中进行。出于对喷涂人员和环境的安全考虑 喷粉设备喷粉室，对于回收系统的效率必须具备强制执行标准。喷粉室可定义为封闭或半封闭的、......
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