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内容摘要：
洁净室具有风量大，无尘车间，空调系统风压高，运行时间长等特点，故其能耗比一般建筑为大。因此，在设计中应考虑节能措施。一、能耗特点国外对普通办公楼与一般洁净厂房的风量作比较，其大致数值见表27.10-1。普通民用空调（如办公楼、旅馆）单位建筑面积的冷负荷在100~130w，无尘车间报价，而半导体厂房的冷负荷可能高达500~1000w/㎡。从符合因数来看：微电子生产车间的空调能耗中工艺而设备负荷、输送......
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