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内容摘要：
特种气体在新兴分散用气市场的应用特种气体在新兴分散用气市场的应用，主要有一下8大作用：1、做保护介质，通常使用氦气、气、氮气用于高纯净、超绝缘、超导等。2、检测及比较介质，通常会根据使用的仪器配制标准气体，用于质谱仪、气相色谱仪、核测、报警、检漏、、电子、原子吸收、化学检验等。3、能量介质，主要用到氢气、氧气等，高纯氮气价格，是航空航天的重要燃料。 气相沉积气体:含卤化物及卤碳化合物为主，......
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