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内容摘要：
淄博齐韵泵业科技有限公司技术力量雄厚、制造设备精良，并有完善的质量管理体系，可为用户设计、制造不同类型的真空泵、水泵及设备机组。 有效稀释有害气体的浓度： 半导体易产生前面所说的、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至；氢气在空气中的......
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