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内容摘要：
(3)一般FFU系统由于单位风量的能耗较大，因此洁净室的冷负荷亦相应增加。具体情况下的评价：(1)FFU用于老建筑物改造成洁净室时，其综合经济性一般往往可取。(2)洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率时，对大的系统采用FFU，当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。(3)对洁净度要求不甚严的洁净室，末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多，但对IC工厂而言FFU系统的灵活性是......
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