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内容摘要：
压力传感器是使用zui为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量重，不能提供电学输出。随着半导体技术的发展，压力检漏传感器，半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展，通用压力传感器，半导体传感器向着微型化发展，小压力传感器，而且其功耗小、可靠性高。 4.应用于监测......
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