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内容摘要：
按受控粒子的性质划分（1）工业洁净室：受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。（2）生物洁净室：受控粒子为生物粒子的洁净室。洁净室要达到洁净等级，环境检测，必须有综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言，主要有以下几项具体措施:（1） 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选......
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