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精密切割硬脆材料时会出现已加工表面的亚表面损伤，光学材料亚表面损伤会使光照射到。表面上时产生大量的散射，降低了光的成像质量，棒料截断设备，若光学晶体存在亚表面损伤则会使激光有很大的损耗而降低材料的使用性能。精密切割后亚表面损伤深度影响抛光加工工序，所......
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