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内容摘要:
净化门对洁净环境的要求特别高医i药净化门每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的Ai级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于Ai级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。 医i药净化门是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某......
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