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硬脆材料切割加工是首套工序,所以该工序具有重要作用。以往切割工艺有内(外)圆锯片切割、带锯切割等,其切割变形力大,切割后的材料表面和亚表面损伤严重,面形精度差等原因难以满足贵重晶体精密切割。传统的切割工艺加工精度不高给后期的研磨抛光加工带来大量加工余......
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