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内容摘要：
基本参数
旋转工作台：
回转精度：（0.025+6H/10000）μm
回转速度：4、6、8、10rpm
台面承载：25kg
回转直径：560mm
测量直径：280mm
轴承类型：气浮轴承
垂直轴（Z轴）：
立柱行程：480mm
检测深度：100mm小内径：35mm
垂直移动方式：电动
立柱直线度：0.3μm/100mm
水平臂（X轴）：
水平移动：165mm
......
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