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内容摘要：
电子洁净室污染因素：一、电磁噪声通过大电流的氧化炉等设备的电缆和反复控制通断的电磁开关，高频振荡等产生的电磁噪声，影响电子束扫描设备的扫描精度。其影响程度与发生源的距离成反比。二、振动设备内的真空泵电机工作时会把振动经地板传递到微细加工设备和显微镜等精密设备仪器上，影响它们的工作精度。应在振源和怕受振动的设备下安装空气的弹簧减震器，以达到衰减振动的目的。三、生锈酸用通风罩局部排风量不足......
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