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内容摘要：
化学气相沉积法在金属材料方面的使用想要了解更多化学气相沉积的相关内容，请及时关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站。钯的化学气相沉积Pd 及其合金对氢气有着极强的吸附作用以及特别的选择渗透性能，气相化学沉积设备，是一种存储或者净化氢气的理想材料。对于Pd 的使用大多是将钯合金或是钯镀层生产氢净化设备 。也有些学者使用化学气相沉积法将钯制成薄膜或薄层。具体做法是使用分解温度极低的金属有机化合物......
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