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内容摘要：
真空镀膜设备如何选配真空泵部件一、在选真空泵时，首先要注意真空泵在工作时产生的振动对工艺和环境是不是存在着影响，如果工艺过程受到影响，应该采取防振措施或者另选真空泵。在选择的时候需要了解待抽气体的成分，如果需要选择性的抽气，一种泵可能不足以满足要求，必须组合多种不同的泵互相配合工作，如果真空镀膜设备镀膜要求无油则要选用无油泵。二、真空泵的价格和维修费用也是我们考虑的重点之一。三、真空......
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