内容摘要:
光纤磁控溅射镀膜机组成以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助。设备用途:在光纤表面镀制纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。配有阳极层离子源进行清洗和辅助沉积,同时设备具有反溅射清洗功能,以提高膜的质量和牢固度。样品台可镀制多种型号光纤产品系统主要由真空室、磁控靶、单基片加热台、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系......
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