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内容摘要：
洁净车间表面光滑，尽可能减少集尘面，轮廓简洁。洁净厂房的设计应合理确定厂房的耐火等级、屋顶、墙面等材料的耐火极限以及防火通道的配置。考虑到生产工艺、配风、管道敷设、照明、建筑空间处理等因素，确定合适的断面形式和层高，以节约能源，无尘车间，简化结构，降低成本。清洁车间的内部设计应营造愉快的心理环境，减少抑郁的感觉。 对于半导体工业而言，无尘室是一必要且不可缺之设备，无尘车间商家，其对空气中的......
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