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内容摘要：
金属硅粉化学气相沉积法：在热，微波，激光，等离子体等外界能量的作用下，在高氢稀释的条件下分解为硅和氢，在气相环境下冷凝，从而制备出纳米硅粉。 球磨法：金属硅粉利用机械旋转及粒子之间的相互作用产生的巨大摩擦力将尺寸较大的硅材料研磨成纳米尺寸的粉末。利用球磨法生产的金属硅粉杂质含量高，粒径分布不能得到很好控制，后处理比较繁琐。 金属硅粉制备硅溶胶的话，具体的工艺流程是，先将一定量的水玻......
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