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内容摘要：
LOW-E玻璃垂直式生产工艺中，玻璃垂直放置在架子上，送入10-1帕数量级的真空环境中，镀膜中空玻璃，通入适量的工艺气体（惰性气体Ar或反应气体O2、N2），并保持真空度稳定。将靶材Ag、Si等嵌入阴极，并在与阴极垂直的水平方向置入磁场从而构成磁控靶。以磁控靶为阴极，加上直流或交流电源，在高电压的作用下，工艺气体发生电离，形成等离......
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