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内容摘要：
什么是镀膜机镀膜的均匀性均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。在光学薄膜的尺度上看，真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内。原子层尺度上的均匀度，也就是说要实现10A甚至1A的表面平整，是现在真空镀膜中主要的技术含量与技术瓶颈所在对于多弧离子镀膜机的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。镀膜中化合物的原子组分会由于尺度过小而......
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