内容摘要:
脉冲激光沉积系统的配置介绍沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售脉冲激光沉积,激光脉冲沉积装置,我们为您分析该产品的以下信息。1.靶: 数量6个,大小1-2英寸,被激光照射时可自动旋转,靶的选择可通过步进电机控制;2.基板:采用适合于氧气环境铂金加热片,大小2英寸,加热温度可达1200摄氏度,激光脉冲沉积装置厂家,温度差<3%,加热时基板可旋转,工作环境的压力可达300mtorr;3.基板......
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