内容摘要:
气锁室一般设在洁净室的出入口,是用以阻隔外界或邻室气流和进行压差控制所设置的缓冲间。为了尽量减小微粒传递速度(通常大于0.5m/s)所需的空气总量,污染受控空间的所有门均应始终保持在关闭状态。若面积为2m2的区域的某扇门处于打开状态,则通过该门、并包含微粒的空气流量可达约3500m3/h;若面积为2m2的区域的某扇门处于关闭状态,则仅会有160m3/h空气通过该门的裂缝漏出,用以阻止微粒进......
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