主营产品：半导体设备、蒸发台、刻蚀机、离子注入
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内容摘要： 产品简介：
Load-lock式Plasma CVD设备CC-200/400是小型的使用便利的可对应从研究开发到量产的设备。  

产品特性：
&8226 27.12MHz高密度等离子制程
 
&8226 SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可对应SiO2膜
 
&8226 以CF4+......

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