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内容摘要：
产品特性：
&8226 通过利用常规过程数据和专有技术重新设计了易用性
&8226 通过在负载锁定室中安装暗盒机构（可选）来提高生产率
&8226 zui大基板传送尺寸为Φ300mm（在中心Φ200mm处保证了厚度分布）。
&8226 支持堆叠/同时溅射多个阴极
&8226 通过触摸屏和配方输入自动处理，节省了人工
&8226 可以记录数据
产品应用：
&8226 ......
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