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内容摘要：
特长
·通过磁场辅助，可以产生比其他ICP方式低压力、低电子温度、高密度等离子体，从离子性蚀刻到自由基性蚀刻，可以进行宽范围的等离子体控制，因此可以对应于作为开发tool的多用过程。
·搭载了防止RF投入窗的沉积物附着的“Star电极”。另外，具有加热功能，重视再现性和稳定性的装置概念。
·实现作为高可靠性输送机器人、装置构造简单、维护简单等研究开发Tool的可靠性。
·还可以......
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