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内容摘要：
自动磁控溅射系镀膜机介绍以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，希望对同行业的朋友有所帮助。自动磁控溅射系统选配项：RF、DC溅射热蒸镀能力RF或DC偏压（1000V）样品台可加热到700°C膜厚监测仪基片的RF射频等离子清洗应用：晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆光学以及ITO涂覆带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆带RF射频等离子放电的反应溅射 磁控溅射介绍沈阳......
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