内容摘要:
真空镀膜机蒸发与磁控溅射镀铝性能真空镀膜机电子束蒸发与磁控溅射镀铝性能分析研究,为了获得性能良好的半导体电极Al膜,我们通过优化工艺参数,制备了一系列性能优越的Al薄膜。通过理论计算和性能测试,分析比较了真空镀膜设备电子束蒸发与磁控溅射两种方法制备Al膜的特点。严格控制发Al膜的厚度是十分重要的,因为Al膜的厚度将直接影响Al膜的其它性能,从而影响半导体器件的可靠性。对于高反压功率管......
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