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内容摘要:
如何减少真空镀膜机中的灰尘如何减少真空镀膜机中的灰尘1、使用的源材料要符合必要的纯度要求;2、样品取出后放置的环境要注意清洁问题;3、镀膜一段时间后,真空室内壁必须要清洁处理;4、清洗衬底材料,必须要做到严格合乎工艺要求;5、工作人员要有专门的工作服装,操作要戴手套、脚套等;6、适当的增加环境的湿度,有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物;7、技术上明确允许的大颗粒尺寸和单位面积颗粒物的......
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