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内容摘要:
真空镀膜设备选购要点分析真空镀膜设备选购要点分析如下:1、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。3、夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。4......
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