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内容摘要：
浅谈真空镀膜机的定义、原理及应用范围浅谈真空镀膜机的定义、原理及应用范围真空镀膜机就是在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜机是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜机有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。真空镀膜机技术初现于20世纪30年代，四五十年始出现工业应用，工业化大规模生产开始......
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