主营产品:电阻热蒸发镀膜,磁控溅射,激光脉冲沉积,电子束
内容摘要: 真空电弧炉机组介绍真空机组通常以罗茨泵或油增压泵为主, 配以前级机械泵。从熔炼工艺和安全要求出发,真空机组应能保证炉内工作压力不超过10 Pa(通常在0.1~1 Pa范围内)。光学观察装置用来观察炉内的熔炼过程。也有采用工业电视系统的。控制系统中主要是电极自动调节器, 用来控制电弧长度使电弧功率和熔化过程稳定。采用计算机过程控制系统,一个人可管理几台炉子。直流电源多采用硅整流装置,电弧炉报......

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