内容摘要:
真空镀膜--磁控溅射镀膜技能一、磁控溅射镀膜-溅射原理:1.使chamber到达真空条件,一般控制在(2~5)E-5torr2.chamber内通入Ar,并启动DC power3.Ar发作电离:Ar Ar+ + e-4.在电场效果下,真空镀膜公司,(电子)会加快飞向anode(阳极)5.在电场效果下,Ar+会加快飞向阴极的target(靶材),target粒子及二次电子被击出,前者到达substrate(基片)表面进行薄膜生长,后者被加快至阴极途中促成更多的电离。6.笔直方向分布的磁力线将电子约束在靶材表面附近,延长其在等离子体中的运动轨道,进步它参与气体分子磕碰和电离过程的几率的效果。 PVD镀膜应用中有什么好处?塑料模具由于其结构复杂决定了加工难度大,故造价相对较高,所以提高模具的寿命就是一个主要课题,尤其镜面和蚀纹面,就特别容易磨损,这一直是一件令人十分苦恼的事情。经过真......
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