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内容摘要：
光学真空镀膜设备该如何进行保养光学真空镀膜设备主要由真空镀膜机室、真空抽气机组限及电柜（控制电柜、电子电枢）组成，其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。光学真空镀膜设备在防止油污染和缩短工作周期等方面具有的性能。光学真空镀膜设备工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度，材料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大，......
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