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内容摘要:
真空镀膜的膜层厚度如何测量?在使用真空镀膜机镀膜之后,为了需要可能会要测量膜层的厚度,测量膜层的厚度用什么方法呢?直接的镀膜控制方法是石英晶体微量平衡法(QCM),这种仪器可以直接驱动蒸发源,通过PID控制循环驱动挡板,保持蒸发速率。只要将仪器与系统控制软件相连接,它就可以控制整个的镀膜过程。但是(QCM)的度是有限的,部分原因是由于它监控的是被镀膜的质量而不是其光学厚度。此外虽然Q......
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