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 内容摘要:
无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,净化房价格,工艺对温湿度的要求也越来越高,净化房厂商,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0。 关于无尘车间知识其实有各种不同角度的,比如做......
 
  
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