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内容摘要：
真空计是真空磁控溅射镀膜机器上有什么作用 真空计：真空计是真空磁控溅射镀膜机器上的重要组成部分，它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为真空计和相对真空计，真空计可以直接测量压强的高低，相对真空计只能间接测量真空度。蒸发系统主要指成膜装置部分，镀膜机器的成膜装置很多，有电阻加热、电子蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式，鄙人就电阻加热和电子蒸发两种方式作介绍......
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