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真空涂层技术领域,特别是涉及一种真空涂层机.本实用新型真空涂层机包括阴极装置,阴极装置包括多个靶材.每个靶材可单独连接一个电弧发生器.本实用新型靶材体积比较小应用了多个电弧发生器,由于采用的靶材体积对应方靶小且有多个电弧发生器单独控......
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