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内容摘要:
主动矩阵型大致可区分为薄膜式晶体管型(Thin Film Transistor;TFT)及二端子二极管型(Metal/Insulator/Metal;MIM)二种方式。由于液晶显示器中的玻璃基板面积较大,TFT加工工艺中采用的加工方法的工艺参数和设备参数有其特殊性。在上玻璃基板的内侧面上,敷有一层透明的导电玻璃板,led显示屏安装,一般为氧化铟锡(Indium ......
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